TR Scan Compact WLI
Berøringsfritt overflatemålingssystem med hvitt lys interferometri — sub-nanometer oppløsning
TR Scan Compact WLI lar deg måle på alle typer materialer med sub-nanometer oppløsning. Hvitt-lys interferometri (WLI) kombinert med piezomotor gir ekstremt raske målinger. Bordet tillater manuell bevegelse med deler opp til 5 kg. Motoriserte bord er tilgjengelig som opsjon for å utvide X&Y-målerekkevidde. Tilgjengelig med enkelt objektiv eller karusell.
Tekniske data
Spesifikasjoner
| Objektiv | Lateral oppløsning (µm) | Målerekkevidde Z (µm) | X/Y rekkevidde (µm) | Arbeidsavstand (mm) |
|---|---|---|---|---|
| WLI 2,5× | 4,81 | 400 | ~4 536 × ~3 447 | ~10,3 |
| WLI 5× | 4,81 | 400 | ~2 268 × ~1 723 | ~9,3 |
| WLI 10× | 1,2 | 400 | ~1 134 × ~861 | ~7,4 |
| WLI 20× | 0,9 | 400 | ~567 × ~430 | ~4,7 |
| WLI 50× | 0,66 | 400 | ~226 × ~172 | ~3,4 |
| WLI 100× | 0,52 | 400 | ~113 × ~86 | ~3,4 |
Vertikal oppløsning 0,1 nm for alle objektiver. Motorisert X/Y-bord tilgjengelig som opsjon.
Spørsmål?
