TR Scan Premium Pack 3D
Berøringsfri 3D linjeskanser med nanometer-presisjon for høyteknologiske applikasjoner
TR Scan Premium muliggjør måling av de mest sensitive overflater med imponerende hastighet og presisjon. Uunnværlig for høyteknologiske applikasjoner der tradisjonell kontaktmåling har nådd sine grenser: medisinske apparater, proteser, wafere, MEMS, halvledere, metalliske belegg, polymerfilmer, optiske komponenter og FoU. Kun noen mikrosekunder for opptak av et tredimensjonalt bilde.
Tekniske data
Spesifikasjoner
| Spesifikasjon | Enhet | CCM-L1 0,2 mm | CCM-L1 1 mm | CCM-L1 4 mm |
|---|---|---|---|---|
| Vertikal målerekkevidde | µm/mm | 200 µm | 0,95 mm | 3,9 mm |
| Linjebredde | mm | 0,96 ± 0,01 | 1,91 ± 0,01 | 4,78 ± 0,02 |
| Lateral avstand | µm | 5 | 10 | 25 |
| Arbeidsavstand | mm | 5,3 ± 0,2 | 18,5 ± 0,2 | 41 ± 0,2 |
| Spottstørrelse | µm | 2 | 4 | 10 |
| Lateral oppløsning | µm | 1 | 2 | 5 |
| Nøyaktighet | nm | ±80 | ±300 | ±1 200 |
| Tykkelsesmåling | — | 20–280 µm | 75 µm–1,35 mm | 300 µm–5,5 mm |
| Min. Ra-måling | µm | < 0,1 | < 0,8 | N/A |
Kompatibel med 2D og 3D overflatestandarder. Forhåndsprogrammerte målemaler inkludert.
Spørsmål?
